IQ+FLOW

气体质量流量计/控制器

基于芯片传感器

 

设备生产商们一直在寻找一种更紧凑的气体流量和压力测量及控制的方案。在先前，传统的质量流量和压力计都需要至少1.5″空间，比如具体到在 NeSSI™ 系统中。如今，Bronkhorst通过与TNO-TPD（荷兰领先的应用物理研究所）的紧密合作，开发出了一系列高科技的IQ+FLOW® 质量流量传感器。由于采用了纳米技术，使其能够减少一半的体积，达到 0.75″, 从而满足了市场上对超小型的紧凑流量和压力控制器的需求。

特征：

• 流量处理范围从 0.2…10 mln/min 到 0.1…5 ln/min (满刻度值)
• 超零点稳定性（由于使用了带热平衡式的芯片传感器）
• 空间利用率提供
• 性价比高
• 超速响应，可低至300 msec
• 模拟和数字(RS232 / RS485) 通讯

 

客户指定设计

根据IQ+FLOW® 系列产品的微系统技术，Bronkhorst成功开发紧凑且多功能模块的超小流量测量产品。

 

分析应用实例

以0.75″超紧凑型模块为基础的分析应用实例：

• 气相色谱仪注入端的流量-压力控制
• 气相色谱仪或高效液相色谱仪监测端的流量控制
• 火焰离子探测仪的流量控制