ES 气体质量流量计 EFM500系列

EFM500由希腊ES SYSTEM公司开发，是一种基于热膜风速计原理的用于质量气体流量测量的MEMS气体流量传感器系列。

EFM500气体流量传感器的特征是：可双向检测气体流量，测量范围是±（20-500 ）SLPM，总误差为读数的1%。流线型对称设计，高质量塑料制造，即使在双向最大流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气，也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。

工作电压低至3.3V，EFM500气体流量传感器在SPI或I2C总线上提供校准和温度补偿输出，即插即用，可直接连接到低压MCU和系统。为用户提供多种选择（如电源、单向/双向或模拟输出），以便根据每个应用的具体要求选择正确的传感器配置。

EFM500具有结构紧凑、通用性强等优点，其高精度和高可靠性对于医疗、过程自动化和制药设备这些行业尤为重要，是理想的气体质量流量计。

应用及案例

·  医       疗（麻醉机、心脏辅助设备心泵、肺活量计、供氧计量……）

·  分析仪器（光谱仪、色谱仪……）

·  过程自动化（泄漏检测、真空泵检测……）

·  制药设备

·  实  验 室

·  环境监测

·  燃烧控制

·  燃料电池

产品特色

EFM500气体流量传感器的特征是：可双向检测气体流量，测量范围是±（20-500 ）SLPM，总误差为读数的1%。流线型对称设计，高质量塑料制造，即使在双向最大流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气，也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。

性能指标

校准气体    空气，其它可用气体根据要求

流量范围    ±（ 20-500 ）SLPM，双向或单向

供电电压    3.3V 或 5V

工作压力    1.45BarA

预热时间    35ms

输出信号    I2C，SPI，0-5V，0-3.3V

总 误  差    1%读数

ADC分辨率    16位

输出刷新率    1ms（ 1KHz ）

压       损   <750pa@200 SLPM

操作温度    - 40℃ ~ 85℃

校准温度    0℃ ~ 50℃

湿       度    0% - 95% RH, 无冷凝

尺       寸    44×92.8×35.4mm（W×L×H)

材       质    接液材质：增强玻璃热塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、

                  环氧树脂、硅橡胶、FR4、聚氨酯、316不锈钢

                  外壳材质：增强玻璃热塑性聚合物

过程接口    22mm ISO 5356

电气接口    2mm 锁定连接器

认       证    RoHS, CE,WEEE

选项配件

评估套件

气体流量评估套件被设计成一款即插即用型设备，无需定制软件或硬件设计及开发，旨在为用户提供一个紧凑的解决方案来评估EFM500系列双向气体质量流量计。开发了一个用户友好的软件用于记录和监测EFM500系列的流量数据。

产品大图

 

订货选型

选型示例  EFM500-XXX-X-X-X-X-X

含       义

EFM500	-XXX	-X	-X	-X	-X	-X
产品型号	流量范围SLPM 020-500（可指定）	方向 -B    双向型 -U    单向型	气体 -A      空气 -O      其它	输出信号 -I      I2C -S      SPI -A      0-5V -B      0-3.3V	供电 -L      3.3V -H      5.0V	控制码