D07-11质量流量控制器&流量计

1

流量规格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30)               SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30)               SLM

2

准确度

 ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

3

线性

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

4

重复精度

±0.2  %F.S

±0.2  %F.S

5

响应时间

电特性:    10   sec      气特性:  ≤ 4 sec

6

最大工作压力

10  MPa

-

7

气压降

-

＜ 0.02 MPa

8

工作压差范围

≤10SLM  (0.2 ~ 0.8)  MPa
＞10SLM  (0.2 ~ 0.6)  MPa

-

9

耐压

10  MPa

10  MPa

10

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

11

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

12

电源

+15 V   50 mA
  -15V   200 mA

13

外形尺寸

详见图4

14

重量

1.2kg

1kg